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《微細加工技術雜志》注重性、學術性，努力做到風格清新、雅俗共賞。教育理論與實踐研究是本刊的重點與特色，創刊以來一直是各種電子信息交流的重要平臺。
綜述 電子束技術 離子束技術 光子束技術 薄膜技術 微機械加工技術 納米技術
[1]參考文獻首先按文種集中，可分為英文、中文、西文等。然后按著者人名首字母排序，中文文獻可按著者漢語拼音順序排列。
[2]中文提要字數以100-300字為宜。關鍵詞3-5個。
[3]作者姓名置于標題下一行。作者單位等內容置于姓名下一行（單位全稱，院系，所在省市，郵政編碼）。
[4]文章主題明確，數據可靠，書寫準確，圖表清晰，文字簡練，內容齊全完整。來稿應含以下部分：中英文題名、中英文摘要、中英文關鍵詞、中圖分類號（本編輯部亦可代查）、正文以及必要的圖表、參考文獻。
[5]題目：要求簡潔、精煉，能夠完整、準確地概括全文內容，并能反映文章的特定內容。不宜以阿拉伯數字開頭，字數不宜超過20個字。
| 主題名稱 | 發文量 | 相關發文學者 |
| 光刻 | 151 | 姚漢民；馮伯儒；胡松；葉甜春；張錦 |
| 離子注入 | 105 | 張通和；楊建華；吳瑜光；顏亨迪；關安民 |
| 電子束曝光 | 79 | 張玉林；顧文琪；薛虹；張福安；王紹鈞 |
| 刻蝕 | 76 | 蔡炳初；徐向東；丁桂甫；楊春生；趙小林 |
| 半導體 | 72 | 郭華聰；周兆英；覃志國；張鵬飛；陳迪平 |
| 電路 | 70 | 陳旭南；王紹鈞；姚漢民；馮伯儒；郭華聰 |
| 微細 | 65 | 王振龍；趙萬生；伊福廷；俞學東；趙小林 |
| 集成電路 | 64 | 陳旭南；王紹鈞；姚漢民；馮伯儒；郭華聰 |
| 微細加工 | 59 | 伊福廷；俞學東；趙小林；王學超；畢建華 |
| 曝光機 | 57 | 張玉林；薛虹；張福安；陳振生；顧文琪 |
微凸起及微坑結構的放電加工基礎性研究 楊志偉 云乃彰 陳建寧
用X光光刻法制備亞波長抗反射結構 李以貴 杉山進
碳納米尖端形成的理論分析 黨純 王廷志
氧化鋁/聚甲基丙烯酸復合粒子的拋光性能 雷紅 張澤芳
可逆示溫微膠囊的制備及性能研究 喬吉超 胡小玲 管萍 柏雪倩
靜電紡絲法制備釔鐵石榴石單晶納米纖維 陳瑩瑩 張溪文 候建梅 韓高榮
采用丙酮催化燃燒法制備多壁碳納米管 李飛 鄒小平 程進 任鵬飛 張紅丹 王茂發 朱光 蘇燚
靶材自制ZAO薄膜的制備與光電性能 江民紅 劉心宇 李海麒
該期刊創刊于1983年，出版地方是湖南，先后獲得Caj-cd規范獲獎期刊、北大圖書館收錄期刊、等榮譽，是一本有一定影響力的學術期刊。
該期刊國際刊號：1003-8213，國內刊號：43-1140/TN。相關信息可以在國家新聞出版總署網站上查詢。如果您還有疑問，可以聯系客服，了解更多詳情。
影響因子現已成為國際上通用的期刊評價指標，它不僅是一種測度期刊有用性和顯示度的指標，而且也是測度期刊的學術水平，乃至論文質量的重要指標。該期刊復合影響因子為0.19。
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